Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники
А.А.Сазонов
В книге рассматриваются вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем, в том числе вопросы моделировании и идентификации технологического оборудования, разработки информационно-измерительных систем, управляющих и исполнительных устройств, а также системы управления некоторых конкретных технологических процессов и технологического микроклимата.
Categories:
Year:
1991
Publisher:
Высшая школа
Language:
russian
Pages:
336
ISBN 10:
5060007316
ISBN 13:
9785060007312
File:
PDF, 16.24 MB
IPFS:
,
russian, 1991
Litres
Want to add your book store? Contact us at support@z-lib.do
File converter
More search results
More benefits 
