Физические основы нанотехнологий и наноматериалы: Учебное пособие

Изложены физические основы нанотехнологий, а также свойства наноматериалов, используемых в электронной промышленности и энергетике. Особое внимание уделено технологическим аспектам получения наноматериалов, их свойствам и конструктивным особенностям, позволяющим создавать новые элементы наноэлектроники, нанофотоники и микросистемной техники. Пособие снабжено большим количеством рисунков и цветных фотографий, что облегчает преподавание дисциплины с активным привлечением мультимедийных средств. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.04.03 – «Конструирование и технология электронных средств» и 11.03.04 – «Электроника и наноэлектроника».